半导体行业中,对晶圆样品的质量把控十分严格,传统的方法是使用暗场照明方式来观察晶圆样品的图案、使用明场照明方式来观察晶圆样品的颜色,这也就意味着检测人员需要不断在检测过程中切换不同的观察技术,效率非常低下。目前,知名显微镜制造商奥林巴斯为晶圆样品显微观察提供了高效的解决方案,用半导体显微镜MX63来进行观察与检测。
使用半导体显微镜MX63,可以有效代替传统的观察方法,其具备的MIX照明功能可以完美解决传统观察方法步骤繁琐、检测耗时的问题,使观察晶圆的颜色信息与电路图案可以同时进行,让半导体晶圆样品质量检测更加高效。半导体显微镜MX63作为奥林巴斯旗下的显微镜产品,具备了所有奥林巴斯产品的共同特性:检测技术先进、工作流程简单,而且它还是一款模块化设计的产品,也是奥林巴斯研发实力的代表产物。
检测技术先进
半导体显微镜MX63采用的MIX观察技术可以使图像采集更加智能,将明场与暗场、偏振光等不同的观察方法相结合,可以使用户观察到其他传统显微镜无法检测到的缺陷。在对晶圆样品进行观察时,半导体显微镜MX63可以生成独特的观察图像,使半导体晶圆质量检测更精准。同时,半导体显微镜MX63可以生成锐利清晰的图像,再搭配使用先进的图像分析软件,可以为用户评估检测结果提供更多选择。
工作流程简单
由于奥林巴斯半导体显微镜MX63拥有用户友好的界面以及直观简单的控件,因此工作流程被大大简化,用户可以直接轻松地对显微镜系统进行设置与调整,对光强、对焦、孔径等功能进行简单控制,使其变为真正舒适且方便使用的检测仪器。在对半导体晶圆样品进行检测时,MX63的聚焦辅助器可以快速寻找到焦点,其硬件设置还能自动记录观察方法、放大倍率等,因此即便是新手也能够轻松使用半导体显微镜MX63来对晶圆进行观察,并实现高质量的检测。
模块设计高效
半导体显微镜MX63系列都采用了模块化设计,用户可以根据自己的特定需求选择不同的光学元件,并构建出适合自己检测需求的显微镜系统。作为检测晶圆样品的半导体显微镜,奥林巴斯MX63系列可以满足用户特定的图像采集与分析需求,其中MX63可以处理200mm的晶圆样品,而MX63L可以处理300mm的晶圆样品,使晶圆检测更加高效。
奥林巴斯以先进的显微镜技术为半导体晶圆检测带来了高效精准地解决方案,而且为用户提供了多样化的显微镜配置,使不同需求的用户都能通过半导体显微镜得到精确的检测结果。奥林巴斯产品的高度实用性与灵活性,也正是其管理者Evident经营理念的体现,让工业检测更高效。
