11月17日举行的2021“专精特新”冬季新品发布会上，由深圳市轴心自控技术有限公司现场展示的“半导体大气式等离子表面处理系统”（以下以其中一款机型“MYS10设备”为指代），打破了被国外厂商长期垄断的格局，在关键性能指标上甚至实现超越。
MYS10设备是一款高灵活性、高兼容性小巧型平台，一般应用在半导体、PCB板、LED显示等行业的生产工艺中的清洗及活化，解决电子元器件表面的污迹、烧结等缺陷隐患，可以称作是半导体等行业生产环节中的重中之重，对于提升产品合格率良率至关重要。
据了解，经过多年攻关，目前产品已经得到国内外主流的半导体、屏显厂商的认可及使用。
轴心自控产品推荐官熊钦介绍入围产品
打破垄断 从跟随到引领
轴心自控瞄准半导体生产中的一道重要且细分工序——等离子清洗，创新推出的“半导体大气式等离子表面处理系统”吸引了发布会现场众多目光。
众所周知，半导体前端晶圆级和后端封装级生产工序中，由于有机脏污、金属氧化物、颗粒污染等在器件和材料表面，这些脏污会明显地影响封装生产及产品质量。行业一般利用等离子体清洗技术，能够很有效清除掉生产过程中形成的这些分子水平的污染，从而显著地改善封装的可制造性、可靠性及成品率。
不仅半导体产业，消费电子、汽车电子、显示等产业各类产品为提高产品稳定性和可靠性，都离不开这道工艺技术。
“此前，产业普遍采用真空等离子处理技术，但是这种技术被国外厂商长期垄断，等于说受制于人。”轴心自控产品经理熊钦介绍，一台同类型设备费用高昂，差不多在15万美元以上，采购时根本没有话语权。
MYS10设备打破了这种垄断，其业内首创的常压式氩气等离子系统在多项关键指标上实现超越，也使得我国同类产品在国际上从跟随者跃升为引领者。根据介绍，该设备可兼容各种不同尺寸的产品，且可快速切换，最大可处理85寸产品；100%中性等离子，多种化学制程，没有离子轰击，不会对产品带来伤害，更安全友好；除此之外，多种机台不同配置可满足不同产品应用，所以基本能满足不同领域产品生产需求。
传统的处理系统需要真空处理和填充惰性气体两道繁琐工序，MYS10设备做了更多创新,通过消除传统真空式等离子处理的等待时间，这套系统在带来产能和良率提升的同时，也能确保安全处理所有敏感性电子元件。与此同时，100mm宽等离子在线式批量处理，可进一步满足高产能，据估算，相比传统方式效率可提升2-5倍，成本降低30%以上。
熊钦表示：“以前受制于国外垄断，现在国产不仅实现替代，性能价格上相比较也有了更大的优势”。据了解，产品自今年5月份发布，收到客户非常积极的评价，普遍认为非常具有创造性和实用性，现在已经陆续出货接近20台。
入围产品“MYS10设备”
创新让小企业跑出加速度
此次获评广东省“专精特新”的20家企业中，不乏在所属的细分领域精耕细作、苦练内功的“小企业”，它们在核心技术上不断突破，干出了令人称道的“大事业”，轴心自控更是其中的典型代表。
自2008年站在“起跑线”，轴心自控从一家小企业逐渐成长为中国流体自动化领域首屈一指的制造商，源于多年来坚持核心技术的基础研发。“不断拓展新思路，不断发现新问题，不断试错。”熊钦回忆起漫长的开发历程不断提到这一点。
这种创新精神带来的正向反馈让企业越跑越快，公司不仅成为多家全球制造行业巨头的重要合作伙伴，同时深度参与制定行业标准，引领行业发展。
